【炬光科技:现在公司产品现已用于KrF、ArF、ArF浸没式等DUV光刻机】炬光科技在互动渠道表明,公司的光场匀化器产品供应给国际尖端光学企业A公司,终究应用于全球高端光刻机生产商的中心设备。公司根据客户的不同类型需求,匹配不同波长的光场匀化器,现在产品现已用于KrF, ArF, ArF浸没式等DUV光刻机。公司光场匀化器产品现在没有用于EUV光刻机,因为EUV光刻机和DUV光刻机光学作业原理不同。
炬光科技在互动渠道表明,公司的光场匀化器产品供应给国际尖端光学企业A公司,终究应用于全球高端光刻机生产商的中心设备。公司依照每个客户的不相同的类型需求,匹配不同波长的光场匀化器,现在产品现已用于KrF, ArF, ArF浸没式等DUV光刻机。公司光场匀化器产品现在没有用于EUV光刻机,因为EUV光刻机和DUV光刻机光学作业原理不同。