硅片被称为“半导体画布”,在其之上布设晶体管和金属连线才干成为集成电路。以硅片为代表的集成电路资料,是集成电路的根底、工业链的要害。今日(10月2日)的《奋斗者正芳华》,咱们来知道我国科学院上海微体系与信息技能研究所硅基资料与集成器材试验室主任俞文杰。他带领均匀岁数仅36岁的青年科研团队为我国自主研制300毫米大硅片作出突出贡献。
在我国科学院上海微体系与信息技能研究所的试验室里,俞文杰和搭档正在对最新的集成电路资料来检测。该试验室具有十分先进的查验测验仪器,是验证集成电路资料功能的重要渠道。
半导体硅片又称晶圆,是制造集成电路的重要资料。通过对硅片进行光刻、离子注入等手法,能够制成集成电路和各种半导体器材。硅片的直径一般有150毫米、200毫米、300毫米等标准。曩昔,我国在该范畴技能相对单薄,干流产品300毫米大硅片更是彻底依靠进口。
为了打破我国大硅片中心技能受制于人的局势,中科院上海微体系所于2014年发动大硅片研制与工业化项目,并成立了300毫米大硅片技能攻关突击队,俞文杰担任突击队队长。那时起,他便带领科研团队日以继夜繁忙在科研一线。
通过两年多的艰苦攻关,2017年,俞文杰团队初次完成了国产商用300毫米大硅片零的突破,一举打破曩昔我国该类型硅片依靠进口的局势,并完成大规模量产,现在该型硅片已累计出货500万片。
在获得300毫米大硅片效果的根底上,俞文杰带领年青的科研团队,面向国家需求与科技前沿,展开更多类型大硅片、光掩模、光刻胶等集成电路资料技能的研制,并活跃筹建“国家集成电路资料技能创新中心”,为我国集成电路资料的自主化打下坚实根底。
十年来,我国集成电路资料工业从无到有,从百分之百依靠进口,到能够自主研制干流硅片并量产,很多青年科技工作人员为国家的科技自立自强贡献芳华。